Lobsterシリーズ185Z340D-T2X0-Cウェーハ処理ロボットは、2kgのレートペイロードを備えた2本腕のウェーハ移送ロボットです。 ハイテクウェーハ転送システムを装备し、それは非常に高い精度、柔软性と安全性を持っています。
モデル
Lobster185Z340D-T2X0-C
タイプ
2武装
応用仕様
300 ~
定格ペイロード
2KG
自由度
4
モーションの範囲
持ち上がる軸 (Z)
340mm
回転軸 (T)
340deg
ストレッチ軸 (R)
360mm
最大速度
400ミリメートル/秒
260deg/sec
1500ミリメートル/秒
特徴
1) クリーンルーム环境。
2) ロボットアームの長さ: 135mm; 185mm。
3) 2アーム構造は、ウェーハ交換の操作時間を短縮します。
4) ウェーハが存在するかどうかを検出するためのマッピングセンサー、上にあるか傾いているかどうか。
5) 仕様は要件に応じてカスタマイズできます。
再配置精度
± 0.1mm
リークレート
-
清潔さ
クラス100
インターフェイス
I/Oインターフェース
4设定可能なデジタル入力;
4设定可能なデジタル出力;
8一般的なデジタル入力;
8一般的なデジタル出力;
(再拡张可能な8デジタル入力/出力)。
イーサネット
1
USB
2
RS232/RS485
通信プロトコル
Modbus-RTU/TCP、ソケット
アームの長さ (R)
185mm
垂直ストローク (Z)
マシンテーブルの高さ (h)
605mm
アクチュエータの長さ (L)
需要ベース
テーブルからストロークのダウン位置 (H) までの高さ
250mm
二武装; ペイロードは2kgです。
4-自由度;
再配置精度は ± 0.1mmに達します。
清潔さはClass100に達します。
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