Lobsterシリーズ200Z300S-T0X5-Vウェーハ処理ロボットは、高度なウェーハ処理装置を備えた単腕ウェーハ移送ロボットです。 レートペイロードが0.5kgのバカムモデルです。 それは非常に高い精度、柔軟性と安全性を持っています。
モデル
Lobster200Z300S-T0X5-V
タイプ
片腕
応用仕様
300 ~
定格ペイロード
0.5KG
自由度
3
モーションの範囲
持ち上がる軸 (Z)
300mm
回転軸 (T)
340deg
ストレッチ軸 (R)
400mm
最大速度
300ミリメートル/秒
400deg/sec
700ミリメートル/秒
特徴
1) 真空環境。
2) ロボットアームの長さ: 200mm。
3) 直接ドライブ、コンパクトな構造
4) ウェーハが存在するかどうかを検出するためのマッピングセンサー、上にあるか傾いているかどうか。
5) 仕様は要件に応じてカスタマイズできます。
再配置精度
± 0.1mm
リークレート
1*10E-6 Pa
清潔さ
ISO Class1
インターフェイス
I/Oインターフェース
4设定可能なデジタル入力;
4设定可能なデジタル出力;
8一般的なデジタル入力;
8一般的なデジタル出力;
(再拡张可能な8デジタル入力/出力)。
イーサネット
1
USB
2
RS232/RS485
通信プロトコル
Modbus-RTU/TCP、ソケット
アームの長さ (R)
200mm
垂直ストローク (Z)
150mm
マシンテーブルの高さ (h)
868mm
アクチュエータの長さ (L)
需要ベース
テーブルからストロークのダウン位置 (H) までの高さ
120mm
シングル武装; ペイロードは0.5kgです。
3-自由度;
再配置精度は ± 0.1mmに達します。
清潔さはISO Class1に達します。
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