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Robotphoenixは、インテリジェント高速並列デルタロボットの先駆的な技術に基づいて、シングルプラットフォームとデュアルプラットフォームの新しい4-DOF並列ロボットを発明しました。これはボトルネックを突破して、マルチ閉ループ並列メカニズムでより大きなスイング角度とより高い出力速度を実現しました。 デュアルプラットフォームロボットの角度は少なくとも ± 180 ° に達する可能性があり、0.1kgのペイロード未満では、標準のドアフレーム型の軌道で走る最速の移動ビートは0.28sに達する可能性があります。 最大加速度は15gです。
片腕ロボット; 腕の長さ200mm;
ペイロード0.5kg;
再配置精度 ± 0.1mm。 その清浄度はクラス100に達し、大気用途に適しています。
二腕ロボット; 腕の長さ185mm;
ペイロード2kg;
再配置精度 ± 0.1mm。 その清浄度はクラス100に達し、大気用途に適しています。
片腕ロボット; 腕の長さ200mm;
ペイロード0.5kg;
再配置精度 ± 0.1mm。 その清浄度は、真空環境に適したISO Class1に達します。
ウェハハンドリングロボットは、Robotphoenix約20μmの他の同様の製品と比較してより高い精度に達する3μmの再配置精度を達成します。 ロブスターシリーズのウェーハ処理ロボットは、贩売のための产业用ロボットこれには、シングルアーム、ダブルアーム、および真空モデルが含まれ、さまざまな半導体ウェーハ処理シナリオで使用できます。
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